MEMS傳感器（微機(jī)電系統(tǒng)傳感器）的工作原理基于微機(jī)械結(jié)構(gòu)與半導(dǎo)體技術(shù)的結(jié)合，通過物理形變或化學(xué)變化轉(zhuǎn)換為電信號實(shí)現(xiàn)感知。以下是核心原理及典型類型：

一、基本工作原理

機(jī)械結(jié)構(gòu)形變?

MEMS傳感器通過微米級機(jī)械結(jié)構(gòu)（如硅薄膜、懸臂梁）感知外界參數(shù)變化。例如，壓力傳感器中的硅薄膜受力形變，導(dǎo)致嵌入的壓敏電阻阻值改變（壓阻效應(yīng)）或電容板間距變化（電容效應(yīng)）?。

信號轉(zhuǎn)換與處理?

形變產(chǎn)生的電信號（電阻/電容變化）通過配套ASIC芯片進(jìn)行放大、濾波和數(shù)字化處理，最終輸出可讀數(shù)據(jù)?。例如，加速度計通過檢測質(zhì)量塊位移引起的電容變化測算加速度。

二、主要類型及原理

壓阻式傳感器?

原理?：硅薄膜形變導(dǎo)致惠斯通電橋電阻變化，轉(zhuǎn)換為電壓信號。

應(yīng)用?：絕壓測量（如胎壓監(jiān)測），精度達(dá)±0.1% FS?。

電容式傳感器?

原理?：電容板間距隨壓力改變，通過檢測電容值變化測算壓力。

優(yōu)勢?：適合動態(tài)測量（如智能手機(jī)海拔計）?。

壓電式傳感器?

原理?：壓電材料（如石英）受力產(chǎn)生電荷，用于高頻振動檢測（如發(fā)動機(jī)爆震）?。

三、技術(shù)特點(diǎn)

微型化?：采用雙面光刻工藝，尺寸可至毫米級?。

高集成度?：機(jī)械結(jié)構(gòu)與信號處理電路集成于同一硅片，提升可靠性?。

低功耗?：電容式方案功耗低至微安級，適合穿戴設(shè)備?。

MEMS傳感器通過融合微機(jī)械與電子技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對壓力、加速度、溫度等參數(shù)的高精度感知，其工作原理的多樣性使其在汽車、消費(fèi)電子等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用?。